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硅片清洗機不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點，而且克服了超聲波清洗的缺點。兆聲無損清洗機的工作原理是利用高能（850kHz）頻率效應(yīng)和化學清洗劑的化學反應(yīng)對硅片進行清洗。在清洗過程中，換能器發(fā)出的高能聲波波長為1m，頻率為0.8MHZ。在聲波的驅(qū)動下，溶液的分子運動得更快。瞬時速度可達30cm/s。因此，無法形成超聲清洗等氣泡。相反，硅片清洗機只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面，迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進入清洗溶液中。經(jīng)濟的發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對消費...

影響一面平面透鏡的透光度有許多成因。鏡面的粗糙度會造成入射光的漫射，降低鏡片的透光率。此外材質(zhì)的吸旋光性，也會造成某些入射光源的其中部分頻率消散的特別嚴重。例如會吸收紅色光的材質(zhì)看起來就呈現(xiàn)綠色。不過這些加工不良的因素都可以盡可能地去除。光學鍍膜系統(tǒng)我們知道是由于現(xiàn)代光學和光電系統(tǒng)重要的組成部分，在光通信、光顯示、激光加工、激光融合等高技術(shù)和工業(yè)領(lǐng)域，技術(shù)突破往往成為現(xiàn)代光學和光電子系統(tǒng)加速發(fā)展的主要原因。光學鍍膜的技術(shù)性能和可靠性直接影響到應(yīng)用系統(tǒng)的性能、可靠性和成本。隨著...

通?？諝獾某煞帜軌蚩醋饔山^干空氣、水汽、塵土三有些組成。熱真空試驗箱溫度為音準空氣在必定壓力及溫度下所含水汽的質(zhì)量。飽和濕度為單位空氣在該條件下所能包括的大水汽質(zhì)量。溫度超市，空氣中所能包括的水汽越多，飽和濕度越大。濕度與飽和濕度的比值為相對濕度。假如堅持空氣的濕度而下降空氣的溫度，當溫度低至必定值后，水蒸汽的分壓力到達對應(yīng)于其時空氣溫度的飽和壓力，該條件下的空氣中水汽就到達飽和。假如進一步下降空氣溫度，水汽就會從空氣中冷凝析出構(gòu)成“露滴”。這種表象被稱為“凝露”。熱真空試驗...

在早些年前ICP刻蝕機在行業(yè)內(nèi)幾乎都統(tǒng)稱為觸摸屏激光刻蝕機，在觸摸屏行業(yè)內(nèi)得到了廣泛應(yīng)用，手機電阻屏、電容屏的發(fā)展也讓激光刻蝕機廠家發(fā)展發(fā)生了質(zhì)的變化，主要體現(xiàn)為ITO玻璃激光刻蝕、銀漿玻璃激光刻蝕等，也有一部分是ITO薄膜與銀漿薄膜刻蝕。ICP刻蝕機是基于真空中的高頻激勵而產(chǎn)生的輝光放電將四氟化碳中的氟離子電離出來從而獲得化學活性微粒與被刻蝕材料起化學反應(yīng)產(chǎn)生輝發(fā)性物質(zhì)進行刻蝕的。同時為了保證氟離子的濃度和刻蝕速度必須加入一定比例的氧氣生成二氧化碳。ICP刻蝕機主要對太陽能...

2019年7月16日，我司成功中標西安電子科技大學等離子增強化學氣相沉積設(shè)備采購招標項目。本項目選用NANO-MASTER設(shè)計生產(chǎn)的NPE-4000系統(tǒng)，該系統(tǒng)為緊湊型設(shè)計PC控制的獨立式下游式PECVD系統(tǒng)，占地面積僅為26”x44”（包含自動LoadLock單元）,不銹鋼立柜。本設(shè)備有以下主要突出優(yōu)勢：根據(jù)客戶的具體應(yīng)用和需求，配置NANO-MASTER設(shè)計的中空陰*密度離子源。帶淋浴頭的平面離子源，具有離子密度高、電子溫度低以及腔體占空比低的特點，從而帶來高速、超低損傷...

近日，那諾中國在“上海交通大學電子信息與電氣工程學院掩模板兆聲清洗機采購項目”的競標中，順利中標，這無疑是對NANO-MASTER綜合實力的又一次肯定！本套設(shè)備是NANO-MASTER,INC.開發(fā)的獨立立柜式單晶圓/掩模版清洗機SWC-4000，可用于清洗晶圓片、光盤、光學元件、陶瓷基底，或其它類似的平底部件。可以達到去除污染物、殘留物、或微塵顆粒等。系統(tǒng)的主要功能包含DI水的兆聲清洗、多四路的化學試劑清洗，以及帶異丙醇的高速甩干等。因此該系統(tǒng)對于單片清洗而言具有優(yōu)異的基底...

熱真空試驗箱是在地面上模擬太空環(huán)境的環(huán)境模擬試驗設(shè)備。近幾年來，熱真空試驗設(shè)備在航天航空業(yè)產(chǎn)品的研制和定型中發(fā)揮了重要作用。熱真空試驗箱由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜，在運行中有時會出現(xiàn)一些異?，F(xiàn)象，如果不能及時排除，將延長試驗周期，影響產(chǎn)品的研制工作。為此，我們對試驗箱的基本工作原理作一些簡要闡述，并介紹如何對熱真空試驗箱的一般故障進行分析判斷和排除。斷開制冷控制，制冷閥關(guān)閉，檢查真空計通訊接口有無松動，分子泵轉(zhuǎn)速有無發(fā)生變化，經(jīng)檢查都正常，說明真空機組的問題可以排除由于低溫降溫階段出現(xiàn)真空...

硅片清洗機正向著小型化、非盒式化及一次完成化（所有清洗與干燥步驟在一個槽內(nèi)進行）方向發(fā)展，以減少工藝過程中帶來的沾污，滿足深亞微米級器件工藝的要求。這無論對清洗工藝還是對清洗設(shè)備都是一個極大的挑戰(zhàn)，傳統(tǒng)的清洗方法已不能滿足要求。臭氧水、兆聲波、電解離子水等的應(yīng)用顯示出很好的去除硅片表面顆粒和金屬沾污的能力，對硅片表面微觀態(tài)的影響很小。而且，它們的使用使清洗設(shè)備小型化及清洗工藝一次完成化的實現(xiàn)成為可能。硅片清洗機不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點，而且克服了超聲波清洗的缺點。兆聲無損清...