兆聲清洗機是以高頻(850kHz)振效應并結合化學清洗劑的化學反應對硅片進行清洗為原理的清洗設備。
兆聲清洗機不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點,而且克服了它的不足。在清洗時,由換能器發(fā)出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動,大瞬時速度可達到30cm/s。因此,形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細小微粒被強制除去并進入到清洗液中。
兆聲清洗機操作規(guī)程:
1、遵守鑄造設備通用操作規(guī)程。
2、工作前還必須遵守:
a、檢查管路系統(tǒng)有無漏氣漏水的情況,如有這種情況,應通知維修人員修理。
b、檢查清洗液是否足夠,如果不夠,及時增加清洗液。
c、先點動試車,然后空運轉2-3分鐘,檢查傳動系統(tǒng)(電動機、聯(lián)軸節(jié)、減速器)和運輸帶的運動是否平穩(wěn),確認一切正常后,方可進行生產。
d、開啟浮油排除裝置(不帶浮油排除裝置除外)開始浮油排除,因此時水泵尚開啟,水面平靜,排油效果,待浮油基本排除后停止除油,排油污多克利用午休時間進行。
3、工作中還必須遵守:
a、被清洗的零件要整齊地放在運輸帶上,不許壓在滾輪上;
b、在運輸帶上,被清洗的零件不能堆得過多,以免影響清洗效果。
c、工作后,被清洗的零件不能停放在運輸帶上,按停止按鈕,使全機停止運行。
d、清洗液應定期添加水和一定比例的金屬清洗劑以補充消耗,使液面保持在一定高度,如果清洗效果達不到規(guī)定的工藝要求時,應全部更換清洗液。